产品规格
| 机型 | X轴 无倾斜 装置 |
SV-3100S4 | SV-3100H4 | SV-3100W4 | SV-3100S8 | SV-3100H8 | SV-3100W8 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 三丰 编号 |
178-451C-1 | 178-452C-1 | 178-453C-1 | 178-456C-1 | 178-457C-1 | 178-458C-1 | |
| 量测力 | 0.75µm | ||||||
| 垂直行程 | 300mm 电动 |
500mm 电动 |
300mm 电动 |
500mm 电动 |
|||
| 花冈岩底座 | 600×450mm | 1000×450mm | 600×450mm | 1000×450mm | |||
| X轴行程 | 100mm | 200mm | |||||
| 解析度 / 测定范围 | 0.0001µm/8 µm, 0.001µm/80µm, 0.01/800µm | ||||||
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