產品規格
| 機型 | SV-2100M4 (專用電裝部) | SV-2100M4 (電腦軟體) | SV-2100S4 (專用電裝部) |
|---|---|---|---|
| 三豐編號 | 178-636-01A | 178-634-01A | 178-680-01A |
| 量測力 | 0.75mN | 0.75mN | 0.75mN |
| 垂直行程 | 350mm手動支柱 | 350mm手動支柱 | 350mm電動支柱 |
| 花岡岩底座 | 600 × 450mm | ||
| X軸行程 | 100mm | ||
| 解析度 / 測定範圍 | 0.0001µm/8 µm, 0.001µm/80µm, 0.01/800µm | ||
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